1.卡套接头，采用SS316L不锈钢材质，耐酸碱，耐腐蚀，泄露率不低于2x 10ˉ8 scc/sec
2.BA级洁净管道，316L不锈钢材质，经过光洁处理，无划
痕无磨损，内部要求经过超声波洁净处理，采用卡套，能适用于纯度在6.0的气体。，壁厚符合ASTM标准。
所有涉及气体均需通过管路输送到设备用点，为了达到工艺对气体的质量要求，除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取至关重要，应恪守相关行业原则。气体系统管材管件的选取标准主要依据气体特性、气源纯度及工艺机台对工艺气体的纯度、颗粒度要求。
